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DHEX-100-50 Hexapod

大寰 Hexapod 是一款高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，只需接收笛卡爾坐標(biāo)系下的位置指令，可在空間六自由度（X、Y、Z、θX、θY、θZ）上實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)動(dòng)與精確定位，從而完成復(fù)雜的空間軌跡控制。

該平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊、精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)，支持自由定義旋轉(zhuǎn)中心，操作簡(jiǎn)便、安裝便捷。在光纖耦合、硅光芯片測(cè)試、攝像頭模組組裝等高精度應(yīng)用中，大寰 Hexapod 可實(shí)現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)；同時(shí)也廣泛適用于科研實(shí)驗(yàn)、精密檢測(cè)與裝配等需要六自由度聯(lián)動(dòng)控制的場(chǎng)景。?

應(yīng)用場(chǎng)景

主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)｜光纖耦合｜硅光子學(xué)晶圓測(cè)試｜攝像頭模組組裝｜光學(xué)測(cè)試｜精密對(duì)準(zhǔn)｜精密裝配｜科學(xué)研究

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產(chǎn)品詳情應(yīng)用案例相關(guān)資料

產(chǎn)品特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)緊湊

136mm緊湊底盤(pán)，114.3mm超低起始高度，輕松集成于有限空間。

超高精度

重復(fù)定位精度達(dá)±0.06μm，滿足微納級(jí)對(duì)準(zhǔn)與定位需求。

穩(wěn)定可靠

創(chuàng)新機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效防止運(yùn)動(dòng)“卡滯”，保障長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

性能卓越

并聯(lián)結(jié)構(gòu)帶來(lái)更高剛度、更輕移動(dòng)質(zhì)量與更快動(dòng)態(tài)響應(yīng)，無(wú)累積誤差。

產(chǎn)品參數(shù)

運(yùn)動(dòng)軸	DHEX-100-50
X行程	±17 mm
Y行程	±16 mm
Z行程	±6.5 mm
θX行程	±10°
θY行程	±10°
θZ行程	±21°
X最大速度	20/10 mm/s*
Y最大速度	20/10 mm/s*
Z最大速度	20/10 mm/s*
θX最大角速度	500/250 mrad/s*
θY最大角速度	500/250 mrad/s*
θZ最大角速度	500/250 mrad/s*
X最小位移	0.2 μm
Y最小位移	0.2 μm
Z最小位移	0.08 μm
θX最小位移	2.5 μrad
θY最小位移	2.5 μrad
θZ最小位移	5 μrad
X單向重復(fù)性	±0.15 μm
Y單向重復(fù)性	±0.15 μm
Z單向重復(fù)性	±0.06 μm
θX單向重復(fù)性	±2 μrad
θY單向重復(fù)性	±2 μrad
θZ單向重復(fù)性	±3 μrad
X反向間隙	0.2 μm
Y反向間隙	0.2 μm
Z反向間隙	0.06 μm
θX反向間隙	2 μrad
θY反向間隙	2 μrad
θZ反向間隙	4 μrad
最大負(fù)載，底板任意方向	2.5 kg
最大負(fù)載，底板水平	5 kg
斷電保持力，底板任意方向	2.5 N
斷電保持力，底板水平	15 N
*說(shuō)明	高速為挑戰(zhàn)速度，低速為最低指標(biāo)速度。為了防止長(zhǎng)時(shí)間以非常高的速度運(yùn)動(dòng)后，導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)不那么平穩(wěn)，為了產(chǎn)品盡可能可靠，盡量減少風(fēng)險(xiǎn)；低速指標(biāo)不會(huì)對(duì)目標(biāo)應(yīng)用場(chǎng)景的質(zhì)量和效率產(chǎn)生影響。

應(yīng)用案例

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